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  • MEMS气体传感器具有广大的应用市场和潜力

    2021-12-14 15:53:36 精讯畅通

    背景:

    MEMS气体传感器不同于其他的物理类气体传感器芯片。它涉及化学、材料、自动化、精密仪器、电子、半导体制造、软件与算法等多种学科中的技术。这就导致其制造难度大,工艺流程复杂。

    MEMS气体传感器介绍:

    目前,应用市场上的MEMS气体传感器大多以单晶硅材料为基底,MOS金属氧化物组份为气体敏感元件。当气敏元件暴露在有被测气体的空气中,气体会与它们发生作用,引起电导率或电阻率的变化,产生包含气体成分和浓度的电信号,经过信号处理电路处理后,即可识别气体的成分和浓度。

    图片关键词

    MEMS半导体气敏传感器采用微电子技术中的成膜工艺,在硅衬底上淀积金属氧化物敏感层,利用敏感层下的电阻做加热器,利用二极管做测温元件,必要的信号电路和读出电路也可以集成在同一硅芯片上。

    MEMS微气体传感器的特点在于将加热电极、绝缘层和测试电极一层一层依次堆积叠加在一起。

    技术水平的不断进步,使得市场上对小体积、低功耗、智能化、模块化的气体传感器的需求越来越大,特别是在物联网等泛在应用的推动下,MEMS传感器的应用空间也越来越广阔。

    应用:

    基于MEMS工艺的半导体敏感材料(MOS)气体传感器开始在智能家电、智能家居、移动穿戴、物联网环境监测、楼宇控制以及医疗健康早期筛查等的气体检测领域广泛应用。

    一直以来,气体传感器在物联网发展中扮演关键角色,采暖、通风和空调(HVAC)系统、空气净化器、智能窗户、汽车、医疗器械、大气环境监测、石油化工产业等等各种行业都有气体传感器的身影。


    标签: 气体传感器
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